SEMICONDUCTOR DEVICE

본 발명은 반도체 소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 활성 패턴을 포함하는 기판; 상기 활성 패턴 상의 채널 패턴, 상기 채널 패턴은 서로 이격되어 수직적으로 적층된 복수개의 반도체 패턴들을 포함하고; 상기 복수개의 반도체 패턴들에 연결된 소스/드레인 패턴; 상기 복수개의 반도체 패턴들 상의 게이트 전극, 상기 게이트 전극은 상기 복수개의 반도체 패턴들 중 서로 인접하는 반도체 패턴들 사이에 개재된 내측 전극들 및 최상부의 반도체 패턴 상의 외측 전극을 포함하고; 및 상기 외측 전극의 상면 상의 캐핑 패턴을 포함하되, 상기 외측...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SON JINKYUNG, GWON YEONGHAN, LIM JAEPO, KIM CHULSUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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