RF APPARATUS FOR SUPPORTING RF POWER AND OPERATING METHOD THEREOF

본 발명에 따른 RF 전력 제공 장치는, 공정 챔버를 갖는 부하, 상기 부하에 연결된 케이블을 통하여 RF 전력을 제공하는 RF 전력 발생기, 및 전달 모드에서 상기 부하로부터 반사된 반사 전력을 감지하고, 상기 감지된 반사 전력에 따라 상기 RF 전력을 제어하는 반사 전력 제어기를 포함할 수 있다. An apparatus for providing radio frequency (RF) power includes a load having a process chamber, a RF power generator configured to provide the RF power through a cable electrically connected to the load, and a reflected power controller configured to detect reflected power from the load in a delivery mode and configured to control the RF power according to the reflected power that was detected.