Plasma density measuring device plasma density measuring system including the same and plasma density measuring method using the same

링 형태의 센서 몸체; 상기 센서 몸체에 결합되며, 원주 방향으로 이격 배치된 복수 개의 플라즈마 감지 센서; 상기 센서 몸체에 결합되며, 상기 복수 개의 플라즈마 감지 센서에 전원을 공급해주는 배터리; 상기 복수 개의 플라즈마 감지 센서의 데이터를 처리할 수 있는 IC칩; 및 상기 데이터를 외부로 송신할 수 있는 무선 통신 회로를 포함하는 플라즈마 밀도 측정기를 제공한다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HONG SOONWOOK, HWANG HYUN SIK, YU JUNSU, SHIN TAE SUN, LEE GIBEOM, BANG JIN YOUNG, CHO SUNGIL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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Beschreibung
Zusammenfassung:	링 형태의 센서 몸체; 상기 센서 몸체에 결합되며, 원주 방향으로 이격 배치된 복수 개의 플라즈마 감지 센서; 상기 센서 몸체에 결합되며, 상기 복수 개의 플라즈마 감지 센서에 전원을 공급해주는 배터리; 상기 복수 개의 플라즈마 감지 센서의 데이터를 처리할 수 있는 IC칩; 및 상기 데이터를 외부로 송신할 수 있는 무선 통신 회로를 포함하는 플라즈마 밀도 측정기를 제공한다.