OBJECT TABLE COMPRISING AN ELECTROSTATIC CLAMP

오브젝트를 유지하기 위한 오브젝트 테이블이 개시되는데, 오브젝트 테이블은: 오브젝트 테이블 상에서 오브젝트를 클램핑하도록 배열되는 정전식 클램프; 정전식 클램프의 잔류 전하를 중화하도록 배열되는 중화기; 중화기를 제어하도록 배열되는 제어 유닛을 포함하고, 잔류 전하는, 정전식 클램프에 어떠한 전압도 인가되지 않을 때 정전식 클램프 상에 존재하는 정전하이다. Disclosed is an object table for holding an object, comprising: an electrostatic clamp arranged to...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WANG YIXIANG, RONDE MICHAEL JOHANNES CHRISTIAAN, VAN DER TOORN JAN GERARD CORNELIS, WELLINK ARNO MARIA, KOOIKER ALLARD EELCO, HUINCK JEROEN GERTRUDA ANTONIUS, CHEN CHIA YAO, ZHU BOHANG, LIU SHIBING, SEVERT HAN WILLEM HENDRIK, LUO YING, VAN SOEST JURGEN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	오브젝트를 유지하기 위한 오브젝트 테이블이 개시되는데, 오브젝트 테이블은: 오브젝트 테이블 상에서 오브젝트를 클램핑하도록 배열되는 정전식 클램프; 정전식 클램프의 잔류 전하를 중화하도록 배열되는 중화기; 중화기를 제어하도록 배열되는 제어 유닛을 포함하고, 잔류 전하는, 정전식 클램프에 어떠한 전압도 인가되지 않을 때 정전식 클램프 상에 존재하는 정전하이다. Disclosed is an object table for holding an object, comprising: an electrostatic clamp arranged to clamp the object on the object table; a neutralizer arranged to neutralize a residual charge of the electrostatic clamp; a control unit arranged to control the neutralizer, wherein the residual charge is an electrostatic charge present on the electrostatic clamp when no voltage is applied to the electrostatic clamp.