제 1 유지 장치, 제 3 유지 장치, 제 5 유지 장치, 반송 시스템, 노광 시스템, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법

이 노광 시스템은, 웨이퍼 상에 감광제를 도포 가능한 도포 장치로부터 반송되는 웨이퍼를 노광 가능한 노광 시스템으로서, 도포 장치로부터 반송된 웨이퍼의 제 1 면을 유지하는 제 1 유지부를 갖는 유지 장치와, 적어도 제 1 측정 영역을 갖고, 제 1 유지부에 의해 유지된 웨이퍼의 제 1 면과는 반대측의 제 2 면에 있어서 제 1 방향의 위치를 측정 가능한 제 1 측정부와, 제 1 측정 영역과는 상이한, 적어도 하나의 제 2 측정 영역을 갖고, 웨이퍼의 제 1 면 또는 제 2 면에 있어서 제 1 방향의 위치를 측정 가능한 제 2 측정...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SUDA TAKAYUKI, YOSHIDA MASAHIRO, OCHINO ARATA, ASAI KENTA, KIDA YOSHIKI, TSUJI HIROAKI, MORO MASATOSHI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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