평가 시스템들과 제조 시스템 사이에서 인터페이스하기 위한 통신 노드

프로세스 툴, 및 프로세스 툴에 결합되고, 통신 노드 및 평가 시스템을 포함하는 툴 서버를 포함하는 전자 디바이스 제조 시스템. 통신 노드는 평가 시스템으로부터 하나 이상의 속성을 획득하고, 하나 이상의 속성에 기초하는 데이터 수집 계획을 포함하는 모니터링 디바이스를 제공하도록 구성된다. 통신 노드는 모니터링 디바이스를 프로세스 툴에 등록하도록 더 구성된다. 통신 노드는 프로세스 툴로부터 데이터 수집 계획에 기초하여 데이터를 수신하고, 수신된 데이터를 평가 시스템으로 전송하도록 더 구성된다. An electronic device manufacturing system that includes a process tool, an evaluation system, and a communication node. The communication node is configured to obtain one or more attributes from the evaluation system and identify a data collection plan that is based on the one or more attributes. The communication node is further configured to register with the process tool to receive data according to the data collection plan and receive, from the process tool, data according to the data collection plan. The communication node is further configured to send the received data to the evaluation system.