ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

정전 척은, 복수의 제1 가스 구멍이 형성된 유전체 기판과, 제2 가스 구멍이 형성된 베이스 플레이트와, 유전체 기판과 베이스 플레이트 사이에 마련되며, 절연성의 재료로 형성된 접합층을 구비한다. 유전체 기판 중 접합층 측의 면에는, 제1 가스 구멍의 단부인 제1 개구가 복수 형성되어 있다. 베이스 플레이트 중 접합층 측의 면에는, 제2 가스 구멍의 단부인 제2 개구가 형성되어 있다. 제2 개구는, 베이스 플레이트 중 접합층 측의 면에 형성된 연통 홈을 통해 복수의 제1 개구에 연통되어 있다. An electrostatic chuc...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MIYAZAKI SHUNYA, SHIRAISHI JUN, ITAKURA IKUO, MOMIYAMA YUTAKA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	정전 척은, 복수의 제1 가스 구멍이 형성된 유전체 기판과, 제2 가스 구멍이 형성된 베이스 플레이트와, 유전체 기판과 베이스 플레이트 사이에 마련되며, 절연성의 재료로 형성된 접합층을 구비한다. 유전체 기판 중 접합층 측의 면에는, 제1 가스 구멍의 단부인 제1 개구가 복수 형성되어 있다. 베이스 플레이트 중 접합층 측의 면에는, 제2 가스 구멍의 단부인 제2 개구가 형성되어 있다. 제2 개구는, 베이스 플레이트 중 접합층 측의 면에 형성된 연통 홈을 통해 복수의 제1 개구에 연통되어 있다. An electrostatic chuck includes: a dielectric substrate on which a plurality of first gas holes are formed; a base plate on which a second gas hole is formed; and a joining layer which is provided between the dielectric substrate and the base plate and which is formed of an insulating material. A first opening being an end of each of the first gas holes is formed in plurality on a surface of the dielectric substrate on a side of the joining layer. A second opening being an end of the second gas hole is formed on a surface of the base plate on a side of the joining layer. The second opening is communicated with the plurality of first openings via a communication groove formed on the surface of the base plate on the side of the joining layer.