RFID RFID PART AUTHENTICATION AND TRACKING OF PROCESSING COMPONENTS

본원에서 제공되는 실시예들은 반도체 칩 제조와 같은 전자 디바이스 제조를 위한 기판 프로세싱 시스템들 상에서 사용되는 소모성 컴포넌트들 또는 비-소모성 컴포넌트들을 포함하는 프로세싱 컴포넌트들을 검출, 인증 및 추적하기 위한 방법들 및 장치를 제공한다. 본원에서, 반도체 프로세싱 시스템들 및/또는 그것의 프로세싱 컴포넌트들은, 하나 이상의 프로세싱 컴포넌트들 또는 프로세싱 컴포넌트 조립체들 내에 매립되거나, 그 내에 배치되거나, 그 상에 배치되거나, 그 상에 위치되거나, 다른 방식으로 그와 결합되고, 그리고/또는 반도체 프로세싱 시스템 자체 내에 통합된 원격 통신 디바이스, 예컨대 무선 통신 장치, 예를 들어 무선 주파수 식별(RFID) 디바이스들 또는 다른 디바이스들을 포함한다. 프로세싱 컴포넌트는 반도체 프로세싱 툴 내에서 사용되는 단일 컴포넌트(부품), 또는 컴포넌트들(부품들)의 조립체를 포함할 수 있다. Embodiments provided herein provide for methods and apparatus for detecting, authenticating, and tracking processing components including consumable components or non-consumable components used on substrate processing systems for electronic device manufacturing, such as semiconductor chip manufacturing. The semiconductor processing systems and/or its processing components herein include a remote communication device, such as a wireless communication apparatus, for example radio frequency identification (RFID) devices or other devices embedded in, disposed in, disposed on, located on, or otherwise coupled to one or more processing components or processing component assemblies and/or integrated within the semiconductor processing system itself. The processing component may include a single component (part) or an assembly of components (parts) that are used within the semiconductor processing tool.