물리 기반 모델들을 사용한 기판 제조 챔버들의 진단 방법들

방법은 기판 제조 챔버와 연관된 센서들에 의해 제조 프로세스 동안 생성된 제1 센서 데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 방법은 훈련된 물리 기반 모델에 의해 생성된 모의된 센서 데이터를 수신하는 단계를 더 포함한다. 방법은 제조 챔버의 어느 하나 이상의 구성요소가 제1 센서 데이터와 모의된 센서 데이터 사이의 차이에 기여하는지를 결정하는 단계를 더 포함한다. 방법은 차이를 고려하여 보정 액션의 수행을 야기하는 단계를 더 포함한다. A method includes receiving first sensor data, generated during a manufacturing process by sensors associated with a substrate manufacturing chamber. The method further includes receiving simulated sensor data generated by a trained physics-based model. The method further includes determining which one or more components of the manufacturing chamber contribute to a difference between the first sensor data and the simulated sensor data. The method further includes causing performance of a corrective action in view of the difference.