Gas supply system and gas supply system monitoring method
본 발명은 가스공급시스템 및 가스공급시스템 모니터링 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부에 노즐이 구비되는 기화기를 포함하는 가스공급시스템 및 가스공급시스템 모니터링 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 캐리어가스를 도입하는 노즐(11)이 구비되며, 원료물질을 기화시키는 기화기(10)와; 상기 기화기(10) 또는 상기 기화기(10) 후단에 설치되어, 상기 기화기(10)에 대한 압력을 측정하는 압력계(20)와; 상기 캐리어가스 공급에 따라 상기 압력계(20)를 통해 수집되는 압력변화량을 토대로 진단데이터(E)를 도출하고 상기 진단...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 가스공급시스템 및 가스공급시스템 모니터링 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부에 노즐이 구비되는 기화기를 포함하는 가스공급시스템 및 가스공급시스템 모니터링 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 캐리어가스를 도입하는 노즐(11)이 구비되며, 원료물질을 기화시키는 기화기(10)와; 상기 기화기(10) 또는 상기 기화기(10) 후단에 설치되어, 상기 기화기(10)에 대한 압력을 측정하는 압력계(20)와; 상기 캐리어가스 공급에 따라 상기 압력계(20)를 통해 수집되는 압력변화량을 토대로 진단데이터(E)를 도출하고 상기 진단데이터(E)와 미리 저장된 기준데이터(R)를 비교하여, 상기 노즐(11)의 막힘 정도를 판단하는 제어부(30)를 포함하는 가스공급시스템을 개시한다. |
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