Micro heater and method of manufacturing the same

마이크로 히터의 제조 방법이 제공된다. 상기 마이크로 히터의 제조 방법은 제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 포함하는 유리 기판을 준비하는 단계, 상기 유리 기판의 상기 제1 면에 레이저를 조사하여 상기 제1 면을 상 변화시키는 단계, 상 변화된 상기 제1 면에 식각 용액을 제공하여 식각함으로써, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면 방향으로 캐비티(cavity)를 형성하는 단계, 및 상기 캐비티와 중첩되는 상기 제2 면 상에 전극 구조체를 형성하는 단계를 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHOA YONGHO, KIM JUN YOUNG, JANG BYUNGKWON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC HEATING ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR METALLURGY PERFORMING OPERATIONS SOLDERING OR UNSOLDERING SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	마이크로 히터의 제조 방법이 제공된다. 상기 마이크로 히터의 제조 방법은 제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 포함하는 유리 기판을 준비하는 단계, 상기 유리 기판의 상기 제1 면에 레이저를 조사하여 상기 제1 면을 상 변화시키는 단계, 상 변화된 상기 제1 면에 식각 용액을 제공하여 식각함으로써, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면 방향으로 캐비티(cavity)를 형성하는 단계, 및 상기 캐비티와 중첩되는 상기 제2 면 상에 전극 구조체를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.