SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

반도체 장치는 복수 개의 계단들을 포함하는 지지체; 상기 지지체 상에 적층된 게이트 라인들을 포함하고, 상기 게이트 라인들은 패드들을 각각 포함하고, 상기 패드들은 상기 복수 개의 계단들 상에 각각 위치된 게이트 구조; 상기 패드들 각각과 연결된 제1 콘택 플러그들; 및 상기 게이트 구조를 통해 연장되는 채널 구조들을 포함할 수 있다. A semiconductor device includes a supporter including a plurality of stairs, a gate structure including gate li...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JUNG SHIK JANG, SEOK MIN CHOI, WON GEUN CHOI, JUNG DAL CHOI, RHO GYU KWAK, IN SU PARK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:반도체 장치는 복수 개의 계단들을 포함하는 지지체; 상기 지지체 상에 적층된 게이트 라인들을 포함하고, 상기 게이트 라인들은 패드들을 각각 포함하고, 상기 패드들은 상기 복수 개의 계단들 상에 각각 위치된 게이트 구조; 상기 패드들 각각과 연결된 제1 콘택 플러그들; 및 상기 게이트 구조를 통해 연장되는 채널 구조들을 포함할 수 있다. A semiconductor device includes a supporter including a plurality of stairs, a gate structure including gate lines that are stacked on the supporter, wherein the gate lines include pads, and the pads are disposed over the plurality of stairs, first contact plugs that are connected to the pads, and channel structures that extend through the gate structure.