검사 장치 및 검사 방법

기판을 검사하는 검사 장치에 있어서, 기판이 탑재되는 탑재 부재와, 기판 상의 전극에 접촉하는 프로브를 갖는 프로브 카드를 보지하는 보지부와, 상기 탑재 부재를 보지하여 이동시키는 이동 기구와, 상기 탑재 부재에 탑재된 기판을 인식하는 제 1 촬상 유닛과, 상기 보지부에 보지된 상기 프로브 카드의 상기 프로브를 인식하는 제 2 촬상 유닛을 가지며, 상기 제 1 촬상 유닛과 상기 제 2 촬상 유닛이 공통의 하우징에 고정된 촬상부와, 상기 촬상부의 상기 하우징을 이동시키는 촬상 이동 기구를 구비하고, 상기 보지부에 보지된 상기 프로브...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ENDO TOMOYA, SAKAMOTO HIROAKI, NUKANOBU TOMOKI, KONISHI KENTARO, SHIKAGAWA HIROKI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION TESTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!