극자외 광원에서의 타겟 공급 제어 장치 및 방법

본 발명의 장치는 타겟 재료 디스펜서 내에서 타겟 재료에 결합되며, 타겟 제어 신호를 기반으로 (타겟 재료 디스펜서에 의해 제공된) 타겟 스트림에 속도 섭동을 유도하도록 구성된 작동 가능한 요소; 스트림 내의 타겟을 관찰하도록 그리고 관찰을 기반으로 타겟 검출 신호를 생성하도록 구성된 검출 장치; 타겟 검출 신호를 수신하도록, 타겟 검출 신호 내의 피크들의 간격 및 크기 모두를 분석하도록, 그리고 적어도 부분적으로 분석을 기반으로 타겟 스트림에서 하나 이상의 합체 길이와 관련된 파형 제어 신호의 매개변수를 업데이트하는 것을 포함하는 파형 제어 신호를 생성하도록 구성된 컨트롤러; 및 작동 가능한 요소 및 컨트롤러와 통신하며, 적어도 부분적으로 파형 제어 신호를 기반으로 작동 가능한 요소에 타겟 제어 신호를 공급하도록 구성된 파형 발생기를 포함한다. An apparatus includes an actuatable element coupled to target material in a target material dispenser and configured to induce velocity perturbations in a target stream (provided by the target material dispenser) based on a target control signal; a detection apparatus configured to observe the targets in the stream, and to generate a target detection signal based on the observation; a controller configured to receive the target detection signal, analyze both a spacing and a sizing of peaks in the target detection signal, and generate a waveform control signal including updating parameters of the waveform control signal relating to one or more coalescence lengths in the target stream based at least in part on the analysis; and a waveform generator in communication with the actuatable element and the controller, and configured to supply the target control signal to the actuatable element based at least in part on the waveform control signal.