본딩 와이어 및 반도체 장치
본 발명의 본딩 와이어는, In의 함유량이 0.005 질량% 이상 2.0 질량% 이하, Au 및 Pd에서 선택된 1종 또는 2종의 원소의 함유량의 합계가 0.005 질량% 이상 2.0 질량% 이하, Bi 및 Cu에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 원소의 함유량의 합계가 5 질량ppm 이상 500 질량ppm 이하, Ca, Mg, Ge, Y, Nd, Sm, Gd, La 및 Ce로 이루어지는 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 원소의 함유량의 합계가 0 질량ppm 이상 500 질량ppm 이하이고, 잔부가 Ag를 포함하는 것이다. 이에...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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