반도체 장치, 전자 기기 및 웨이퍼
접속 패드끼리의 중첩이 크게 어긋나는 것이 억제된 반도체 장치를 제공한다. 반도체 장치는, 2층의 반도체층과, 반도체층끼리의 사이에 개재되고, 각각이, 절연막에 마련된 조이며, 접속 패드, 배선 및 접속 패드를 배선에 접속하고 있는 비아를 포함하는 당해 조를 복수 포함하고, 접속 패드의 접합면끼리를 접합함으로써 서로 전기적으로 접속된, 적층 방향 일방측의 배선층 및 적층 방향 타방측의 배선층을 구비하고, 적층 방향 일방측의 배선층의 모든 조는, 평면에서 볼 때, 접속 패드의 중심이, 비아의 중심으로부터 제1 방향으로 제1 거리 이격...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!