INSPECTION APPARATUS

검사 장치는 검사대상물로부터 제1 방향을 따라 이격되어 배치되고 빔을 조사하는 광원, 검사대상물과 광원 사이에 배치되고 제1 방향을 따라 관통하는 제1 개구가 정의되는 제1 렌즈, 검사대상물과 제1 렌즈 사이에 배치되고 제1 방향을 따라 관통하고 제1 개구와 중첩하는 제2 개구가 정의되는 제2 렌즈, 제1 렌즈를 사이에 두고 검사대상물로부터 이격되어 배치되며 평면상에서 제1 개구 및 제2 개구와 중첩하여 배치되는 입사부를 포함하는 검사 유닛, 및 제1 렌즈과 검사 대상물 사이의 제1 거리 및 제2 렌즈와 검사 대상물 사이의 제2 거리 중 적어도 하나를 조절하는 구동 유닛을 포함한다. An inspection apparatus includes a light source which radiates a beam, a first lens disposed between the inspection object and the light source with a first opening defined therethrough in a first direction, a second lens disposed between the inspection object and the first lens with a second opening defined therethrough in the first direction to overlap the first opening, an inspection unit disposed to be spaced apart from the inspection object with the first lens interposed therebetween and including an incidence portion disposed to overlap the first opening and the second opening on a plane, and a driving unit which adjusts a distance between the first lens and the inspection object or a distance between the second lens and the inspection object.