거칠기와 형상 결함이 매우 낮은 고정밀 금속 거울의 광학 표면

본 발명은 광학 부품(optical part; 1)의 광학 표면(4)을 제조하는 방법(S)에 관한 것으로, 제 1 알루미늄 합금(aluminium alloy)으로 제조된 기판(3) 및 상기 제 1 알루미늄 합금보다 작은 다공도(porosity)를 갖는 제 2 알루미늄 합금으로 제조된 코팅(coating; 2)을 포함하는 광학 부품을 얻는 단계(S1); 상기 광학 표면(4)의 기준 형상 결함 및 기준 표면 거칠기를 결정하는 단계(S3); 기준 표면 거칠기를 얻기 위한 연마 매개변수를 결정하는 단계(S4); 연마 매개변수(polishi...

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Hauptverfasser: JOSEPH CEDRIC, FOUCAUD GUILLAUME, RODOLFO JACQUES, LAGRANGE THIERRY, MERCERON JEAN MARC
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 광학 부품(optical part; 1)의 광학 표면(4)을 제조하는 방법(S)에 관한 것으로, 제 1 알루미늄 합금(aluminium alloy)으로 제조된 기판(3) 및 상기 제 1 알루미늄 합금보다 작은 다공도(porosity)를 갖는 제 2 알루미늄 합금으로 제조된 코팅(coating; 2)을 포함하는 광학 부품을 얻는 단계(S1); 상기 광학 표면(4)의 기준 형상 결함 및 기준 표면 거칠기를 결정하는 단계(S3); 기준 표면 거칠기를 얻기 위한 연마 매개변수를 결정하는 단계(S4); 연마 매개변수(polishing pRmeter)에 따라, 코팅(2)에 수정된 형상 결함을 부여하도록 가공하는 단계(S5); 및 기준 표면 거칠기 및 기준 형상 결함이 얻어질 때까지 연마 매개변수에 따라 코팅(2)을 연마하는 단계(S6)를 포함한다. The present invention relates to a method of manufacture (S) of an optical surface (4) of an optical part (1), comprising the following steps: obtaining (S1) an optical part (1) comprising a substrate (3) made of a first aluminium alloy and a coating (2) made of a second aluminium alloy having a porosity less than that of the first aluminium alloy; determining (S3) a reference shape defect and a reference surface roughness of the optical surface (4); determining (S4) polishing parameters for obtaining the reference surface roughness; depending on the polishing parameters, machining (S5) the coating (2) so as to give it a modified shape defect; and polishing (S6) the coating (2) according to the polishing parameters until the reference surface roughness and the reference shape defect are obtained.