레이저 조사 방법 및 레이저 조사 장치
레이저 빔(LB)을 사출하는 포토닉 결정 면발광 레이저(PCSEL)소자(110)와, PCSEL 소자(110)로부터 사출되는 레이저 빔(LB)의, 공간 전반(傳搬)에 의한 광전송로 (25, 30)에 있어서, 레이저 빔(LB)을 집속 렌즈(27)에 의해 집속하는 레이저 헤드(24)와, 레이저 빔(LB)의 조사대상물(W)에 대한 집속 렌즈(27)의, 레이저 빔(LB)의 광축 방향을 따른 상대이동에 의해, 레이저 빔(LB)의 광축 방향에서의 빔 웨이스트(BW) 위치에 관계없이 레일리 길이(ZR) 범위 내의 어느 조사 위치에 있어서도, 집속...
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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