레이저 조사 방법 및 레이저 조사 장치

레이저 빔(LB)을 사출하는 포토닉 결정 면발광 레이저(PCSEL)소자(110)와, PCSEL 소자(110)로부터 사출되는 레이저 빔(LB)의, 공간 전반(傳搬)에 의한 광전송로 (25, 30)에 있어서, 레이저 빔(LB)을 집속 렌즈(27)에 의해 집속하는 레이저 헤드(24)와, 레이저 빔(LB)의 조사대상물(W)에 대한 집속 렌즈(27)의, 레이저 빔(LB)의 광축 방향을 따른 상대이동에 의해, 레이저 빔(LB)의 광축 방향에서의 빔 웨이스트(BW) 위치에 관계없이 레일리 길이(ZR) 범위 내의 어느 조사 위치에 있어서도, 집속...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	USUDA KAORI, NODA SUSUMU
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING DEVICES USING STIMULATED EMISSION ELECTRICITY FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMSTHEREOF HEATING INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21Sand F21V, RELATING TO THEFORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THELIGHT EMITTED LIGHTING MACHINE TOOLS MECHANICAL ENGINEERING METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES PERFORMING OPERATIONS SOLDERING OR UNSOLDERING STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHERARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR SYSTEMS THEREOF TRANSPORTING VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLEEXTERIORS WEAPONS WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	레이저 빔(LB)을 사출하는 포토닉 결정 면발광 레이저(PCSEL)소자(110)와, PCSEL 소자(110)로부터 사출되는 레이저 빔(LB)의, 공간 전반(傳搬)에 의한 광전송로 (25, 30)에 있어서, 레이저 빔(LB)을 집속 렌즈(27)에 의해 집속하는 레이저 헤드(24)와, 레이저 빔(LB)의 조사대상물(W)에 대한 집속 렌즈(27)의, 레이저 빔(LB)의 광축 방향을 따른 상대이동에 의해, 레이저 빔(LB)의 광축 방향에서의 빔 웨이스트(BW) 위치에 관계없이 레일리 길이(ZR) 범위 내의 어느 조사 위치에 있어서도, 집속 렌즈(27)에 의해 집속된 레이저 빔(LB)을 조사대상물(W)에 조사시키는 이동 기구(22, 23, 24)를 구비한다. A laser irradiation apparatus including: a photonic crystal surface emitting laser (PCSEL) element (110) configured to emit a laser beam (LB); a laser head (24) configured to focus the laser beam (LB) emitted from the PCSEL element (110) by a focusing lens (27) thereof in an optical transmission path (25 and 30) by spatial propagation; and a moving mechanism (22, 23, and 24) configured to irradiate the laser beam (LB) focused by the focusing lens (27) onto an object to be irradiated (W) with the laser beam (LB) at any irradiation position within a Rayleigh length (ZR) range regardless of a beam waist (BW) position of the laser beam (LB) in an optical axis direction by a movement of the focusing lens (27) relative to the object to be irradiated (W) along the optical axis direction of the laser beam (LB).