METHOD AND DEVICE FOR RECOVERING TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE AND REMOVING NITROGEN-CONTAINING COMPOUNDS FROM DEVELOPING WASTE LIQUID

현상 폐액에서 테트라메틸암모늄 하이드록사이드를 회수하고 질소 함유 화합물을 제거하는 방법으로서, 제1 흡착 단계, 제1 제어 단계, 제2 제어 단계, 및 제3 제어 단계를 포함하고, 상기 제1 흡착 단계에서, 제1 이온 수지로 현상 폐액 내의 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 및 질소 함유 화합물을 흡착하며, 상기 제1 제어 단계에서, 상기 현상 폐액이 상기 제1 이온 수지 내의 질소 함유 화합물을 탈착시키기 위해 높은 pH 값 및 고유속으로 상기 제1 이온 수지에 유입되도록 제어하고, 상기 제2 제어 단계에서, 상기 제1 이온 수지...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SHU CHUAN HSIAO, CHING TANG CHANG, CHIH-MING HUANG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS SEPARATION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	현상 폐액에서 테트라메틸암모늄 하이드록사이드를 회수하고 질소 함유 화합물을 제거하는 방법으로서, 제1 흡착 단계, 제1 제어 단계, 제2 제어 단계, 및 제3 제어 단계를 포함하고, 상기 제1 흡착 단계에서, 제1 이온 수지로 현상 폐액 내의 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 및 질소 함유 화합물을 흡착하며, 상기 제1 제어 단계에서, 상기 현상 폐액이 상기 제1 이온 수지 내의 질소 함유 화합물을 탈착시키기 위해 높은 pH 값 및 고유속으로 상기 제1 이온 수지에 유입되도록 제어하고, 상기 제2 제어 단계에서, 상기 제1 이온 수지 내의 질소 함유 화합물이 탈착된 후, 상기 현상 폐액의 유동을 중지하며, 상기 제3 제어 단계에서, 상기 제1 이온 수지를 재생하여 테트라메틸암모늄염 용액을 얻는다.