PLASMA DIAGNOSTIC APPARATUS AND OPERATING METHOD THEREOF

본 발명에 따른 플라즈마 진단 장치는, 적어도 하나의 프로브를 갖는 기판, 상기 기판에 실장되고, 상기 적어도 하나의 프로브를 통하여 챔버의 플라즈마를 진단하고, 진단 결과 정보를 저장하는 플라즈마 진단회로, 상기 기판에 실장되고, 상기 진단 결과 정보를 외부 장치에 무선으로 전송하는 무선 통신회로, 및 상기 기판에 실장되고, 상기 플라즈마 진단회로 및 상기 무선 통신회로에 전원을 공급하는 배터리를 포함할 수 있다. A plasma diagnostic apparatus includes a substrate having at least one probe, a plasma diagnostic circuit mounted on the substrate, configured to diagnose plasma in a chamber with the at least one probe, and to store diagnosis result information, a wireless communication circuit mounted on the substrate and configured to wirelessly transmit the diagnosis result information to an external device, and a battery mounted on the substrate and configured to supply power to the plasma diagnostic circuit and to the wireless communication circuit.