Substrate processing apparatus

기판을 지지하는 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트가 상면의 중심부에 위치하는 상부 척(Chuck), 상기 상부 척의 측면과 연속되는 측면을 가지고, 상기 상부 척의 하면과 맞닿아 상기 상부 척을 지지하는 커버 플레이트, 및 원판 형상을 갖는 베이스 상판 및 상기 베이스 상판의 둘레에서 하방으로 연장되는 베이스 측판을 포함하고, 상기 커버 플레이트의 하측 내부에 위치하고, 베이스 상판의 상면 및 베이스 측판의 외부 면이 상기 커버 플레이트의 내부와 접촉하는 베이스 플레이트를 포함하는 기판 처리 장치를 통해, 기판 처리 장치의 수명을...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE HYEON JUN, KIM CHUL WOO, KWON HYE JEONG, NA SEUNG EUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	기판을 지지하는 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트가 상면의 중심부에 위치하는 상부 척(Chuck), 상기 상부 척의 측면과 연속되는 측면을 가지고, 상기 상부 척의 하면과 맞닿아 상기 상부 척을 지지하는 커버 플레이트, 및 원판 형상을 갖는 베이스 상판 및 상기 베이스 상판의 둘레에서 하방으로 연장되는 베이스 측판을 포함하고, 상기 커버 플레이트의 하측 내부에 위치하고, 베이스 상판의 상면 및 베이스 측판의 외부 면이 상기 커버 플레이트의 내부와 접촉하는 베이스 플레이트를 포함하는 기판 처리 장치를 통해, 기판 처리 장치의 수명을 향상시킬 수 있다.