Non-contact type Nozzle Position Setting Device and Method of The Same
본 발명은 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐이 스테이지 척에 접촉하지 않은 채 영점을 조절하는 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 의하면 촬영기구를 이용해 노즐이 스테이지 등의 기준면에 반사되는 이미지를 이용하여 영점 세팅을 수행한다. 따라서, 노즐이 스테이지 등에 물리적으로 접촉하지 않은 비접촉식 방법으로 영점 세팅...
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| description | 본 발명은 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐이 스테이지 척에 접촉하지 않은 채 영점을 조절하는 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 의하면 촬영기구를 이용해 노즐이 스테이지 등의 기준면에 반사되는 이미지를 이용하여 영점 세팅을 수행한다. 따라서, 노즐이 스테이지 등에 물리적으로 접촉하지 않은 비접촉식 방법으로 영점 세팅을 할 수 있다. |
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