Non-contact type Nozzle Position Setting Device and Method of The Same

본 발명은 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐이 스테이지 척에 접촉하지 않은 채 영점을 조절하는 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 의하면 촬영기구를 이용해 노즐이 스테이지 등의 기준면에 반사되는 이미지를 이용하여 영점 세팅을 수행한다. 따라서, 노즐이 스테이지 등에 물리적으로 접촉하지 않은 비접촉식 방법으로 영점 세팅...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEE YONGHWAN, CHOI HYUNSEUNG, LEE SUNGHYUN, BANG JINHYEOK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐이 스테이지 척에 접촉하지 않은 채 영점을 조절하는 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 노즐 위치 세팅 장치 및 이를 이용한 노즐 위치 세팅 방법에 의하면 촬영기구를 이용해 노즐이 스테이지 등의 기준면에 반사되는 이미지를 이용하여 영점 세팅을 수행한다. 따라서, 노즐이 스테이지 등에 물리적으로 접촉하지 않은 비접촉식 방법으로 영점 세팅을 할 수 있다.