JIG AND METHOD OF MANUFACTURING MULTIPLE WAFERS

(과제) 반송, 가공 등이 되는 잉곳의 개체 식별이나 관리를 용이하게 한다. (해결 수단) 잉곳으로부터 웨이퍼를 제조할 때에 사용되고, 잉곳과 일체화된 상태로 반송되는 지그로서, 잉곳이 돌출되는 양태로 잉곳을 유지 가능한 유지 기구를 갖는 베이스와, 베이스에 고정되고, 잉곳의 개체 정보가 식별 가능하게 기록되는 정보 기록부를 구비하는 지그가 제공된다. 바람직하게는, 베이스는, 소정의 깊이를 갖는 원반 형상의 오목부를 포함하고, 오목부에는, 잉곳의 바닥부가 수용된다. A jig for use in manufacturing a wafe...

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Hauptverfasser: OMIYA NAOKI, MORI KAZUKI
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:(과제) 반송, 가공 등이 되는 잉곳의 개체 식별이나 관리를 용이하게 한다. (해결 수단) 잉곳으로부터 웨이퍼를 제조할 때에 사용되고, 잉곳과 일체화된 상태로 반송되는 지그로서, 잉곳이 돌출되는 양태로 잉곳을 유지 가능한 유지 기구를 갖는 베이스와, 베이스에 고정되고, 잉곳의 개체 정보가 식별 가능하게 기록되는 정보 기록부를 구비하는 지그가 제공된다. 바람직하게는, 베이스는, 소정의 깊이를 갖는 원반 형상의 오목부를 포함하고, 오목부에는, 잉곳의 바닥부가 수용된다. A jig for use in manufacturing a wafer from an ingot and for being delivered while being integrated with the ingot includes a base having a holding mechanism for holding the ingot such that the ingot protrudes therefrom and an information recording member fixed to the base for recording individual information of the ingot identifiably therein. Preferably, the base has a disk-shaped recess defined therein that has a predetermined depth for accommodating a bottom portion of the ingot therein.