Device and method for measuring oxidation degree

실시 예에 따른 산화도 측정 장치는 검사 대상물로 빛을 제공하는 광원부; 상기 검사 대상물로부터 반사 또는 산란되는 빛을 수신하는 수광부; 및 상기 수광부를 통해 수신된 빛을 이용하여 상기 검사 대상물의 특성에 대한 정보를 획득하는 획득부를 포함하고, 상기 검사 대상물은 회로 패턴, 및 상기 회로 패턴 상에 배치되고 비아 홀을 구비한 절연층을 포함하는 회로 기판이고, 상기 광원부는 상기 비아 홀과 수직 방향을 따라 중첩된 회로 패턴의 표면으로 상기 빛을 제공한다....

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1. Verfasser: KWON JI NA
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:실시 예에 따른 산화도 측정 장치는 검사 대상물로 빛을 제공하는 광원부; 상기 검사 대상물로부터 반사 또는 산란되는 빛을 수신하는 수광부; 및 상기 수광부를 통해 수신된 빛을 이용하여 상기 검사 대상물의 특성에 대한 정보를 획득하는 획득부를 포함하고, 상기 검사 대상물은 회로 패턴, 및 상기 회로 패턴 상에 배치되고 비아 홀을 구비한 절연층을 포함하는 회로 기판이고, 상기 광원부는 상기 비아 홀과 수직 방향을 따라 중첩된 회로 패턴의 표면으로 상기 빛을 제공한다.