Image sensor having meta-photonic structure and electronic apparatus including the same
개시된 이미지 센서는, 영상 생성을 위한 화소 신호를 출력하는 액티브 화소 센서 영역; 및 상기 액티브 화소 센서 영역을 둘러싸는 주변부 영역;을 포함하며, 상기 액티브 화소 센서 영역과 상기 주변부 영역은, 상기 액티브 화소 센서 영역과 상기 주변부 영역에 걸쳐 연장되어 배치된 복수의 화소를 포함하는 센서층을 포함하고, 상기 액티브 화소 센서 영역은 상기 센서층과 마주하여 배치된 메타 광학 구조를 포함하고, 상기 메타 광학 구조는 메타 패턴을 갖도록 배열된 복수의 나노 구조물 및 상기 복수의 나노 구조물 사이에 채워진 유전체층을...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 개시된 이미지 센서는, 영상 생성을 위한 화소 신호를 출력하는 액티브 화소 센서 영역; 및 상기 액티브 화소 센서 영역을 둘러싸는 주변부 영역;을 포함하며, 상기 액티브 화소 센서 영역과 상기 주변부 영역은, 상기 액티브 화소 센서 영역과 상기 주변부 영역에 걸쳐 연장되어 배치된 복수의 화소를 포함하는 센서층을 포함하고, 상기 액티브 화소 센서 영역은 상기 센서층과 마주하여 배치된 메타 광학 구조를 포함하고, 상기 메타 광학 구조는 메타 패턴을 갖도록 배열된 복수의 나노 구조물 및 상기 복수의 나노 구조물 사이에 채워진 유전체층을 포함하며, 상기 주변부 영역은 상기 액티브 화소 센서 영역으로부터 일체로 연장된 상기 유전체층 및 홈의 형태를 갖도록 상기 유전체층에 배치된 크랙 스토퍼를 포함할 수 있다.
An image sensor comprises: an active pixel sensor region outputting a pixel signal for generating an image; and a periphery region surrounding the active pixel sensor region, where the active pixel sensor region and the periphery region each include a sensor layer that includes a plurality of pixels and extends through the active pixel sensor region and the periphery region, where the active pixel sensor region comprises (i) a meta-photonic structure facing the sensor layer, and (ii) a dielectric layer, the meta-photonic structure comprising a plurality of nano-structures arranged to have a meta pattern with the dielectric layer filled among the plurality of nano-structures, and where the periphery portion comprises (i) the dielectric layer integrally extending from the active pixel sensor region and (ii) a crack stopper having a groove shape formed within the dielectric layer. |
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