클램프용 지그 및 세정 장치
본 개시의 클램프용 지그는 지주부와, 상기 지주부의 일방의 단부에 위치하고 있고 기판의 외주부를 파지하기 위한 파지부와, 지주부의 타방의 단부에 위치하고 있고 지주부를 지지하기 위한 기부를 포함하고, 파지부는 탄화규소 또는 산화지르코늄을 주성분으로 하는 세라믹스로 이루어지는 본체와, 상기 본체의 선단에 위치하는, 본체보다 열전도율이 낮은 제 1 단열층을 구비해서 이루어진다. A clamping jig according to the present disclosure comprises: a support column part; a ho...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 개시의 클램프용 지그는 지주부와, 상기 지주부의 일방의 단부에 위치하고 있고 기판의 외주부를 파지하기 위한 파지부와, 지주부의 타방의 단부에 위치하고 있고 지주부를 지지하기 위한 기부를 포함하고, 파지부는 탄화규소 또는 산화지르코늄을 주성분으로 하는 세라믹스로 이루어지는 본체와, 상기 본체의 선단에 위치하는, 본체보다 열전도율이 낮은 제 1 단열층을 구비해서 이루어진다.
A clamping jig according to the present disclosure comprises: a support column part; a holding part which is positioned at one end of the support column part for the purpose of holding the outer peripheral part of a substrate; and a base part which is positioned at the other end of the support column part for the purpose of supporting the support column part. The holding part comprises: a main body which is formed of a ceramic that is mainly composed of silicon carbide or zirconium oxide; and a first thermal insulation layer which is positioned at the front end of the main body and has a thermal conductivity that is lower than the thermal conductivity of the main body. |
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