SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS AND METHOD THEREOF

기판 검사 장치 및 이의 기판 검사 방법에 대해 개시한다. 일 실시예에 따른 기판 검사 장치는 기판 상에 형성된 유기층에 조사되는 광과 상기 유기층으로부터 반사되는 반사광의 광간섭에 의해 발생되는 단면 이미지를 출력하는 OCT 측정기, 하나 이상의 인스트럭션(instruction)들을 저장하는 메모리 및 상기 메모리에 저장된 상기 하나 이상의 인스트럭션들을 실행하는 프로세서를 포함하고, 상기 프로세서는 상기 하나 이상의 인스트럭션을 실행함으로써 상기 단면 이미지로부터 상기 유기층이 형성되지 않은 기판의 일면과 접하는 선으로부터 연장되는 기준선을 설정하고, 상기 단면 이미지에서 제1 영역에서의 상기 유기층의 제1 상부선과 하부선까지의 광학 두께를 측정하며, 상기 유기층의 제1 상부선과 상기 기준선까지의 물리적 두께를 측정하고, 상기 광학 두께와 물리적 두께에 기초하여 굴절율을 연산할 수 있다. A substrate inspection apparatus includes an optical coherence tomography (OCT) measuring device which outputs a cross-sectional image generated by optical interference between light radiated onto an organic layer on a substrate and reflected light reflected from the organic layer, a memory which stores one or more instructions and a processor which executes the one or more instructions stored in the memory, where the processor sets a reference line extending from a line in contact with one surface of the substrate, on which the organic layer is not disposed, from the cross-sectional image, measures an optical thickness from a first upper line to a lower line of the organic layer in a first area in the cross-sectional image, measures a physical thickness from the first upper line of the organic layer to the reference line, and calculate a refractive index based on the optical thickness and the physical thickness.