진공 처리 장치

본 개시는, 검사 대상의 종류 등에 따라서 압력 변동 속도를 전환함으로써, 스루풋 저하를 방지하면서, 무른 검사 대상의 검사 시의 동작 신뢰성을 확보할 수 있는 진공 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 개시에 관한 진공 처리 장치는, 시료실과 외기 사이에서 시료를 수수하는 예비 배기실을 구비하고, 상기 시료 위에 형성되어 있는 형상 패턴의 취약도에 대응하는 파라미터에 따라서, 상기 예비 배기실을 환기하는 배관의 컨덕턴스를 변화시킨다(도 5 참조). The purpose of the present disclosure is to provide a vacuum processing device that switches the rate of pressure variation depending on, e.g., the type of an object to be inspected, thereby making it possible to ensure operation reliability during inspection of a fragile object to be inspected, while preventing a decrease in throughput. The vacuum processing device according to the present disclosure comprises a preliminary exhaust chamber for the transfer of a sample between a sample chamber and the external air. The conductance of a pipe for ventilating the preliminary exhaust chamber is varied in accordance with a parameter corresponding to the fragility of a shape pattern formed on the sample (see FIG. 5).