Method and device for generating point spread function of scanning-transmission electron microscope

주사투과 전자현미경의 이미지 분해능을 높일 수 있는 최적의 점상강도 분포함수를 생성하는 방법 및 장치가 제공된다. 본 발명의 점상강도 분포함수 생성방법은, 시료에 대한 스캔이미지 및 시료정보에 기초하여 생성된 가상이미지 간 비교를 통해 주사투과 전자현미경의 최적의 점상강도 분포함수를 생성할 수 있다....

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KANG MIN CHUL, YANG CHEOLWOONG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING COMPUTING COUNTING ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	주사투과 전자현미경의 이미지 분해능을 높일 수 있는 최적의 점상강도 분포함수를 생성하는 방법 및 장치가 제공된다. 본 발명의 점상강도 분포함수 생성방법은, 시료에 대한 스캔이미지 및 시료정보에 기초하여 생성된 가상이미지 간 비교를 통해 주사투과 전자현미경의 최적의 점상강도 분포함수를 생성할 수 있다.