Thermal image crack inspection device

열화상 크랙 검사장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 열화상 크랙 검사장치는, 기판 샘플이 배치되는 샘플 스테이지 유닛; 샘플 스테이지 유닛의 상방으로 미리 결정된 거리만큼 이격 배치되며, 기판 샘플을 촬영하여 기판 샘플에 크랙이 발생하였는지 여부를 검사하는 열화상 카메라 유닛; 및 샘플 스테이지 유닛으로부터 상측 방향으로 이격되어 위치하되 열화상 카메라 유닛의 측면으로부터 이격되어 위치하며, 샘플 스테이지 유닛에 배치되는 기판 샘플의 상부면에 대하여 경사진 방향으로 가열 면광을 조사하여 기판 샘플을 가열하되, 기판 샘플...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	YOUN YEA HONG, YE SE HUI, CHOI KYO WON, YOON HYUNG SEOK
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	COLORIMETRY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING PHYSICS RADIATION PYROMETRY TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	열화상 크랙 검사장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 열화상 크랙 검사장치는, 기판 샘플이 배치되는 샘플 스테이지 유닛; 샘플 스테이지 유닛의 상방으로 미리 결정된 거리만큼 이격 배치되며, 기판 샘플을 촬영하여 기판 샘플에 크랙이 발생하였는지 여부를 검사하는 열화상 카메라 유닛; 및 샘플 스테이지 유닛으로부터 상측 방향으로 이격되어 위치하되 열화상 카메라 유닛의 측면으로부터 이격되어 위치하며, 샘플 스테이지 유닛에 배치되는 기판 샘플의 상부면에 대하여 경사진 방향으로 가열 면광을 조사하여 기판 샘플을 가열하되, 기판 샘플의 전체 검사 영역에 대하여 균등하게 가열하도록 가열 면광을 조절하여 조사하는 샘플 균등 가열 유닛을 포함한다.