Apparatus for Inspecting Wafer Edges
실시예는 세정 후 카세트에 수납된 웨이퍼들을 건조시키는 동안 웨이퍼들의 에지 결함을 측정할 수 있는 웨이퍼 에지 검사 장치에 관한 것이다. 실시예의 일 측면에 따르면, 복수의 웨이퍼가 전후 방향으로 소정 간격을 두고 세워진 상태로 일렬로 수납되는 카세트; 상기 카세트가 수용되는 챔버; 상기 챔버 내측에서 상기 카세트에 수납된 웨이퍼들의 하단을 지지하고, 상기 웨이퍼들을 회전시키는 롤러; 상기 챔버 내측에 이동 가능하게 배치되고, 상기 카세트에 수납된 웨이퍼들을 향하여 공기는 분사하는 에어 노즐; 및 상기 챔버 내측에 이동 가능하게...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 실시예는 세정 후 카세트에 수납된 웨이퍼들을 건조시키는 동안 웨이퍼들의 에지 결함을 측정할 수 있는 웨이퍼 에지 검사 장치에 관한 것이다. 실시예의 일 측면에 따르면, 복수의 웨이퍼가 전후 방향으로 소정 간격을 두고 세워진 상태로 일렬로 수납되는 카세트; 상기 카세트가 수용되는 챔버; 상기 챔버 내측에서 상기 카세트에 수납된 웨이퍼들의 하단을 지지하고, 상기 웨이퍼들을 회전시키는 롤러; 상기 챔버 내측에 이동 가능하게 배치되고, 상기 카세트에 수납된 웨이퍼들을 향하여 공기는 분사하는 에어 노즐; 및 상기 챔버 내측에 이동 가능하게 배치되고, 상기 카세트에 수납된 웨이퍼들의 에지 결함을 측정하는 비전 센서;를 포함하는 웨이퍼 에지 검사 장치를 제공한다. |
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