불소 수지의 개질 방법 및 개질 장치

개선된 불소 수지의 개질 방법 및 개질 장치를 제공한다. 불소 수지의 개질 방법은, 산소 원자와 질소 원자 중 적어도 한쪽을 내포하는 유기 화합물을 포함하는 제1 유체에 적어도 205nm 이하의 파장역에 강도를 나타내는 자외광을 조사하고, 상기 자외광이 조사된 상기 제1 유체를 불소 수지에 접촉시키는 제1 공정과, 가스 또는 안개상의 물을 포함하는 제2 유체에 상기 자외광을 조사하고, 상기 자외광이 조사된 상기 제2 유체를 상기 불소 수지에 접촉시키는 제2 공정을 구비한다. 개질 장치는, 산소 원자와 질소 원자 중 적어도 한쪽을 내포하는 유기 화합물을 포함하는 제1 유체, 및, 가스 또는 안개상의 물을 포함하는 제2 유체를 챔버 내에 공급하기 위한 적어도 하나의 유체 공급구와, 파장 205nm 이하의 파장역에 강도를 나타내는 자외광을 상기 챔버 내의 상기 제1 유체와 상기 제2 유체를 향해 조사하는 광원을 구비한다. Provided are an improved method and device for modifying a fluororesin. This method for modifying a fluororesin comprises a first step for irradiating a first fluid containing an organic compound that includes oxygen atoms and/or nitrogen atoms with ultraviolet light that exhibits intensity in at least the wavelength region of 205 nm or less and bringing the first fluid that has been irradiated with the ultraviolet light into contact with a fluororesin, and a second step for irradiating a second fluid containing water in the form of a gas or mist with the ultraviolet light and bringing the second fluid that has been irradiated with the ultraviolet light into contact with the fluororesin. This modification device comprises at least one fluid supply port for supplying a first fluid containing an organic compound that includes oxygen atoms and/or nitrogen atoms and a second fluid containing water in the form of a gas or mist into a chamber, and a light source for irradiating the first fluid and the second fluid in the chamber with ultraviolet light that exhibits intensity in the wavelength region of 205 nm or less.