DICHARGE APPARATUS SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF ARTICLE

액체를 토출하는 복수의 노즐을 포함하고, 상기 복수의 노즐을 통해서 기판에 상기 액체를 배치하는 토출 헤드와, 상기 복수의 노즐로부터 선택되는 적어도 2개의 노즐을 포함하는 노즐의 조합을 사용하여, 상기 기판의 목표 영역에 상기 액체를 배치하는 토출 처리를 행하는 처리부와, 상기 토출 헤드의 노즐로부터 토출되는 상기 액체의 토출량을 규정하는 서로 다른 복수의 파형 정보가 저장되며, 상기 복수의 파형 정보로부터 선택된 파형 정보에 따라 상기 복수의 노즐 각각을 구동하는 드라이버 회로를 구비하고, 상기 처리부는, 상기 복수의 파형 정보 중 제1 파형 정보를 선택하는 제1 선택 정보를 상기 드라이버 회로에 제공함으로써, 상기 드라이버 회로에 의해 상기 제1 파형 정보에 따라 상기 조합에 포함되는 노즐의 각각을 구동하여 상기 목표 영역에 대하여 상기 액체를 토출하는 동작을 복수회 행하게 하여 상기 토출 처리를 행하고, 상기 토출 처리를 행하고 있는 동안에, 상기 조합에 포함되는 노즐로부터 상기 액체의 토출이 불량이 되는 불량 노즐이 검지되었을 경우에, 상기 불량 노즐이 토출해야 할 상기 액체의 토출량을 보충하는 제2 파형 정보에 따라 상기 조합에 포함되는 노즐 가운데 상기 불량 노즐과는 다른 노즐을 구동하여 상기 목표 영역에 대하여 상기 액체를 토출하는 동작이 행하여지도록, 상기 드라이버 회로에 제공하는 선택 정보를, 상기 제1 선택 정보로부터, 상기 제2 파형 정보를 선택하는 제2 선택 정보로 고쳐 쓰는, 것을 특징으로 하는 토출 장치를 제공한다. The invention provides a discharge apparatus. The discharge apparatus comprises: a discharge head, a processing unit, and a driver circuit. The discharge head includes a plurality of nozzles for discharging a liquid, and disposing the liquid on a substrate through the plurality of nozzles. The processing unit is configured to perform a discharge process to dispose the liquid on a target area of the substrate by using a combination of nozzles including at least two nozzles selected from the plurality of nozzles. The driver circuit is configured to store a plurality of respectively different waveform information that defines a discharge amount of the liquid discharged from the nozzles of the discharge head, and drive each of the plurality of nozzles according to the waveform information selected from the plurality of waveform information. The processing unit is configured to perform the discharge process by providing first selection information for selecting first waveform information from the plurality of waveform information to the driver circuit, thereby causing the driver circuit to perform driving operations on each of the nozzles included in the combination according to the first waveform information so as to discharge the liquid on the target area for a plurality of times. In performing the discharge process, when detecting a defective nozzle that discharges the liquid defectively from a nozzle included in the combination, in order to perform an operation of discharging the liquid to the target area according to second waveform information by driving a nozzle other than the defective nozzle among the nozzles included in the combination, the selection information provided to the driver circuit is rewritt