Method for manufacturing hydrogen detection sensor hydrogen detection sensor manufactured thereby
본 발명의 일실시예는 전도성 기판을 준비하는 단계; 상기 전도성 기판의 상면을 식각하는 단계; 상기 전도성 기판 상에 제1 전극층을 서로 이격되도록 복수로 구비하는 단계; 복수의 상기 제1 전극층 상에 제2 전극층을 각각 구비하여 적층 전극을 형성하는 단계; 및 서로 이격된 상기 적층 전극 사이 및 상기 적층 전극의 표면의 적어도 일부에 접하도록, 수소 감지에 따라 저항값이 변하는 소재로 구성된 감지층을 형성하는 단계;를 포함하는, 수소 감지 센서의 제조방법을 제공한다....
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명의 일실시예는 전도성 기판을 준비하는 단계; 상기 전도성 기판의 상면을 식각하는 단계; 상기 전도성 기판 상에 제1 전극층을 서로 이격되도록 복수로 구비하는 단계; 복수의 상기 제1 전극층 상에 제2 전극층을 각각 구비하여 적층 전극을 형성하는 단계; 및 서로 이격된 상기 적층 전극 사이 및 상기 적층 전극의 표면의 적어도 일부에 접하도록, 수소 감지에 따라 저항값이 변하는 소재로 구성된 감지층을 형성하는 단계;를 포함하는, 수소 감지 센서의 제조방법을 제공한다. |
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