가스 전달 시스템 및 관련 방법

모듈형 가스 전달 시스템(100, 200, 300, 400)이 제공되어 있다. 시스템은 가스 유입구(112)를 포함한 상류 모듈(110), 가스 유출구(116)를 포함한 하류 모듈(114), 및 제1 중간 모듈(120)을 포함한 중간 모듈 어셈블리(118, 418)를 포함한다. 제1 중간 모듈은 제1 가스 전달 유출구(122)를 포함한다. 중간 모듈 어셈블리는 상류 모듈 및 하류 모듈과 맞물림 가능하고 이로부터 분리 가능하다. 시스템은 가스 흐름 경로가 가스 유입구로부터 가스 유출구로 형성되어 있고, 제1 가스 전달 흐름 경로가 가스 유입구로부터 제1 가스 전달 유출구로 형성되어 있는 제1 시스템 구성으로 조립되도록 구성되어 있다. 연관된 사용 방법이 또한 제공되어 있다. There is provided a modular gas delivery system (100, 200, 300, 400). The system comprises an upstream module (110) comprising a gas inlet (112), a downstream module (114) comprising a gas outlet (116), and an intermediate module assembly (118, 418) comprising a first intermediate module (120). The first intermediate module comprises a first gas delivery outlet (122). The intermediate module assembly is engageable with, and disengageable from, the upstream module and the downstream module. The system is configured to be assembled into a first system configuration in which a gas flow path is formed from the gas inlet to the gas outlet, and a first gas delivery flow path is formed from the gas inlet to the first gas delivery outlet. An associated method of use is also provided.