Spatial light modulators methods of operating and manufacturing the same and apparatus including spatial light modulator

공간 광 변조기와 그 구동 및 제조방법과 상기 공간 광 변조기를 포함하는 전자장치에 관해 개시된다. 일 실시예에 의한 공간 광 변조기는 기판과, 상기 기판의 일 면 상에 구비된 블록층(blocking layer)과, 상기 블록층 상에 구비된 하부 반사층과, 상기 하부 반사층가 마주하게 배치된 상부 반사층과, 상기 상부 반사층과 상기 하부 반사층 사이에 구비된 캐버티층을 포함하고, 상기 블록층은 상기 상부 반사층으로부터 상기 기판으로 전달되는 열을 차단하도록 마련된 복수의 홀(hole)을 포함한다. 일 예에서, 상기 블록층과 상기 하부 반사층 사이에 평탄화층이 더 구비될 수 있다. A spatial light modulator includes a substrate, a blocking layer provided on one surface of the substrate, a lower reflective layer provided on the blocking layer, an upper reflective layer facing the lower reflective layer, and a cavity layer provided between the upper reflective layer and the lower reflective layer, where the blocking layer includes a plurality of holes configured to block heat transferred from the upper reflective layer to the substrate.