METHOD FOR REMOVING DEFECTIVE LIGHT EMITTING DIODE ON WAFER

실시예는 웨이퍼 상에 형성된 복수의 발광다이오드 중 불량 발광다이오드를 제거하기 위한 방법으로서, 상기 복수의 발광다이오드에 대해 불량 여부를 검사하는 단계, 및 상기 검사 단계를 통해 확인된 불량 발광다이오드를 제거하는 단계를 포함하는 불량 발광다이오드 제거 방법을 개시한다. 상기 불량 발광다이오드를 제거하는 단계는, 상기 불량 발광다이오드를 대향하는 상기 웨이퍼의 대향면으로부터 상기 불량 발광다이오드에 에너지를 공급하여 상기 불량 발광다이오드가 상기 웨이퍼로부터 분리되되록 하는 단계를 포함한다....

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	YEO WON JAE, RYU BENG SO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	실시예는 웨이퍼 상에 형성된 복수의 발광다이오드 중 불량 발광다이오드를 제거하기 위한 방법으로서, 상기 복수의 발광다이오드에 대해 불량 여부를 검사하는 단계, 및 상기 검사 단계를 통해 확인된 불량 발광다이오드를 제거하는 단계를 포함하는 불량 발광다이오드 제거 방법을 개시한다. 상기 불량 발광다이오드를 제거하는 단계는, 상기 불량 발광다이오드를 대향하는 상기 웨이퍼의 대향면으로부터 상기 불량 발광다이오드에 에너지를 공급하여 상기 불량 발광다이오드가 상기 웨이퍼로부터 분리되되록 하는 단계를 포함한다.