높은 증기압 전달 시스템

시스템은 기화기 용기를 포함한다. 기화기 용기는 기화기 용기에 유체 연결된 출구를 포함한다. 히터는 기화기 용기를 가열하도록 구성된다. 출구에서 기화된 물질의 압력을 조절하도록 밸브가 구성된다. 출구에서의 압력이 설정된 압력 범위 밖에 있는 것에 응답하여, 히터는 기화기 용기에 대한 열을 증가시키거나 감소시키도록 구성된다. A system includes a vaporizer vessel. The vaporizer vessel includes an outlet fluidly connected to the vaporizer vesse...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	NAITO DONN K, GREGG JOHN N, BATTLE SCOTT L, HENDRIX BRYAN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	시스템은 기화기 용기를 포함한다. 기화기 용기는 기화기 용기에 유체 연결된 출구를 포함한다. 히터는 기화기 용기를 가열하도록 구성된다. 출구에서 기화된 물질의 압력을 조절하도록 밸브가 구성된다. 출구에서의 압력이 설정된 압력 범위 밖에 있는 것에 응답하여, 히터는 기화기 용기에 대한 열을 증가시키거나 감소시키도록 구성된다. A system includes a vaporizer vessel. The vaporizer vessel includes an outlet fluidly connected to the vaporizer vessel. A heater is configured to heat the vaporizer vessel. A valve is configured to regulate a pressure of a vaporized material at the outlet. In response to the pressure at the outlet being outside a set pressure range, the heater is configured to increase or decrease heat to the vaporizer vessel.