CMP COLOR IMAGING FOR CMP MONITORING

연마 시스템은 연마 패드를 지지하는 플래튼을 포함하는 연마 스테이션, 기판을 유지하는 지지체, 상기 연마 스테이션에서의 상기 기판의 표면의 연마 전 또는 후에 상기 기판을 측정하는 인-라인 계측 스테이션, 및 제어기를 포함한다. 상기 인-라인 계측 스테이션은 컬러 라인-스캔 카메라, 백색 광원, 상기 광원 및 상기 카메라를 지지하는 프레임, 및 상기 광원과 상기 카메라가 상기 기판을 가로질러 스캐닝하게 하기 위해 상기 제1 축에 수직인 제2 축을 따라 상기 카메라와 상기 지지체 사이의 상대적인 움직임을 야기하는 모터를 포함한다. 상기 제어기는 상기 카메라로부터 컬러 데이터를 수신하고, 상기 컬러 데이터로부터 2차원 컬러 이미지를 생성하고, 상기 컬러 이미지에 기초하여 상기 연마 스테이션에서의 연마를 제어하도록 구성된다. A metrology technique for analyzing a substrate includes storing data indicating a boundary of an area in a 2-dimensional color space having a pair of color channels including a first color channel and a second color channel as axes of the color space, receiving color data of a substrate from a camera, generating a color image of the substrate from the color data, performing a comparison of a pair of color values for the pair of color channels for the pixel to the boundary of the area in the 2-dimensional color space for each pixel of a plurality of pixels of the color image to determine whether the pair of color values meet thresholds provided by the boundary, and generating a signal to an operator based on results of the comparison for the plurality of pixels.