End effector for transferring wafer and method for transferring wafer using the same

실시예에 따른 기판 이송용 엔드 이펙터는, 로봇 암의 선단에 일단이 연결되고 상면에 기판이 안착되는 블레이드; 상기 블레이드의 상부에 각각 돌출 형성되고 양방향으로 이동이 가능한 구조를 형성하며 복수 개의 위치에서 상기 기판의 측면을 그립하여 고정하는 제1 내지 제3 이동 패드; 및 상기 제1 내지 제3 이동 패드와 각각 연결되어 상기 제1 내지 제3 이동 패드를 상기 기판의 측면 방향으로 이동시켜 상기 기판을 그립하기 위한 구동력을 제공하는 그립 조절 모듈;을 포함하는 구조를 갖는다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HAN UL SIM, JU HYUN KANG, DONG SUN KO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	실시예에 따른 기판 이송용 엔드 이펙터는, 로봇 암의 선단에 일단이 연결되고 상면에 기판이 안착되는 블레이드; 상기 블레이드의 상부에 각각 돌출 형성되고 양방향으로 이동이 가능한 구조를 형성하며 복수 개의 위치에서 상기 기판의 측면을 그립하여 고정하는 제1 내지 제3 이동 패드; 및 상기 제1 내지 제3 이동 패드와 각각 연결되어 상기 제1 내지 제3 이동 패드를 상기 기판의 측면 방향으로 이동시켜 상기 기판을 그립하기 위한 구동력을 제공하는 그립 조절 모듈;을 포함하는 구조를 갖는다.