펠리클

펠리클막의 막 장력이 적합하게 조정되어, 풍압 등에 의한 변형이 억제되어 구조 안정성이 우수한 펠리클을 제공한다. 직사각 형상의 프레임체(2)와, 프레임체(2)의 일면측에 마련된 펠리클막(3)과, 프레임체(2)의 타면측에 마련된 마스크 점착제(4)를 구비하고, 프레임체(2)의 긴 변의 길이가 600㎜ 이상이며, 그리고 짧은 변의 길이가 500㎜ 이상인 펠리클(1)이며, 소정의 송풍 플러터 실험을 행하였을 때, 제1 방향으로의 변위량(T1)과 제2 방향으로의 변위량(T2)의 합(Δ변위량=T1+T2)이 1.50㎜ 내지 2.80㎜이며, 또한, 제1 방향으로의 최대 변위량(T1max)과 제2 방향으로의 최대 변위량(T2max) 중 큰 쪽(플러터양)이, 1.00㎜ 내지 2.40㎜인 것을 특징으로 하는, 펠리클. Provided is a pellicle in which the membrane stress in the pellicle film is adjusted to be suitable, distortion due to turbulent flow, etc., is kept under control, and the structural stability is excellent. A pellicle (1) is provided with a rectangular frame (2), a pellicle film (3) provided to one surface of the frame (2), and a mask adhesive (4) provided to the other surface of the frame (2). The length of the longer side of the frame (2) is 600 mm or greater and the length of the shorter side is 500 mm or greater. The pellicle is characterized in that when a predetermined air-blast flutter experiment is carried out, the sum of displacement (T1) in a first direction and displacement (T2) in a second direction (Δ displacement = T1 + T2) is between 1.50 mm and 2.80 mm, and the greater of a maximum displacement (T1max) in the first direction and a maximum displacement (T2max) in the second direction (flutter amounts) is between 1.00 mm and 2.40 mm.