안내 장치, 안내 방법, 계측 장치, 물체의 제조 설비, 계측 방법, 물체의 제조 방법, 및 물체의 품질 관리 방법
본 발명에 관련된 안내 장치는, 계측 대상물의 물리량을 계측하는 계측 수단을 주사시킬 때에, 계측 대상물에 대한 계측 수단의 주사 위치를 안내하는 안내 수단을 구비하고, 안내 수단은, 주사 위치를 안내하는 적어도 2 개의 선상의 안내용 마커를 갖고, 적어도 2 개의 선상의 안내용 마커는, 계측 수단의 계측 위치보다 주사 방향 전방의 위치에, 주사 위치를 사이에 두고 소정 간격을 두어 배치된다. A guiding device according to the present invention includes a guiding unit co...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명에 관련된 안내 장치는, 계측 대상물의 물리량을 계측하는 계측 수단을 주사시킬 때에, 계측 대상물에 대한 계측 수단의 주사 위치를 안내하는 안내 수단을 구비하고, 안내 수단은, 주사 위치를 안내하는 적어도 2 개의 선상의 안내용 마커를 갖고, 적어도 2 개의 선상의 안내용 마커는, 계측 수단의 계측 위치보다 주사 방향 전방의 위치에, 주사 위치를 사이에 두고 소정 간격을 두어 배치된다.
A guiding device according to the present invention includes a guiding unit configured to guide a scanning position of a measurement unit with respect to a measurement target when a measurement unit configured to measure a physical quantity of the measurement target performs scanning. The guiding unit includes at least two linear guide markers configured to guide the scanning position, and the at least two linear guide markers are arranged at positions ahead of a measurement position of the measurement unit in a scanning direction at predetermined intervals with the scanning position being interposed therebetween. |
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