METHOD FOR MANUFACTURING OF ZIRCONIUM ALLOY CLADDING TUBES

본 발명의 일 실시예는 아크 이온 플레이팅(AIP)을 이용한 금속 코팅막 증착 공정 중에 발생하는 공정열에 의해 지르코늄 합금 모재의 미세조직 변화를 억제하여 코팅층과 모재 간의 접착력을 향상시키고 치밀한 코팅층 적층이 가능하면서 모재의 성능변화가 없는 지르코늄 합금 피복관을 제조하는 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 지르코늄 합금 피복관의 제조방법은 지르코늄 합금 재질의 피복관을 준비하는 피복관 준비단계, 피복관의 표면에 코팅되는 코팅물질을 포함하며, 미리 설정된 타겟조건으로 제1 크기의 타겟을 준비하는 타겟 준비단계, 챔버 내에 피복관과 타겟을 배치 후 초기 진공을 위해 미리 설정된 예열조건으로 진공 가열하는 진공가열단계, 타겟의 표면에 미리 설정된 전류조건으로 전류를 공급하여 아크를 발생시켜 코팅물질의 입자를 증발시키는 입자 증발단계, 증발된 입자의 증착속도 증가를 위해 미리 설정된 전압조건으로 바이어스 전압을 공급하여 이온화된 코팅물질이 피복관의 표면에 균질하게 코팅되게 하는 코팅단계를 포함하며, 타겟조건과 예열조건, 전류조건, 그리고 전압조건을 조절하여 피복관의 표면에서 지르코늄 합금의 재결정 발생을 방지하도록 미세조직 변화를 조절한다. The objective of one embodiment is to provide a method for manufacturing a zirconium alloy cladding tube that suppresses changes in the microstructure of a zirconium alloy base material by using process heat generated during a metal coating film deposition process using arc ion plating (AIP), thereby improving the adhesion between a coating layer and the base material while enabling dense coating layer stacking without changes in the performance of the base material. The method for manufacturing a zirconium alloy cladding tube, according to one embodiment, comprises: a cladding tube preparation step of preparing a cladding tube made of a zirconium alloy material; a target preparation step; a vacuum heating step; an etching step; and a coating step, and adjusts target conditions, preheating conditions, current conditions, and voltage conditions to adjust microstructure changes so as to prevent recrystallization of an zirconium alloy on the surface of the cladding tube.