Control method of gas supply device

가스공급장치의 제어방법의 실시예는, 용기의 교체 모드 시, 용기를 공급라인과 분리하기 전에, 상기 공급라인에 잔류하는 가스를 벤트라인을 통하여 배출하는 벤트 공정과, 상기 공급라인에 퍼지가스를 공급하는 퍼지 공정을 설정된 횟수만큼 교대로 수행한 후에 용기의 분리 작업을 수행하도록 제어함으로써, 용기 교체 시 기존의 벤트 기능에 퍼지 기능을 구현함으로써 용기밸브의 분리 시 발생할 수 있는 인체 유해 물질을 누출을 사전에 제거할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MOON SEON KYU, WOO YOUNG JE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING PIPE-LINE SYSTEMS PIPE-LINES SEMICONDUCTOR DEVICES STORING OF DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	가스공급장치의 제어방법의 실시예는, 용기의 교체 모드 시, 용기를 공급라인과 분리하기 전에, 상기 공급라인에 잔류하는 가스를 벤트라인을 통하여 배출하는 벤트 공정과, 상기 공급라인에 퍼지가스를 공급하는 퍼지 공정을 설정된 횟수만큼 교대로 수행한 후에 용기의 분리 작업을 수행하도록 제어함으로써, 용기 교체 시 기존의 벤트 기능에 퍼지 기능을 구현함으로써 용기밸브의 분리 시 발생할 수 있는 인체 유해 물질을 누출을 사전에 제거할 수 있다.