교체 가능한 모터 조립체를 갖는 광학 격리기 조립체를 배치하기 위한 방법 및 장치

장치는 리프팅 디바이스 및 모터 조립체를 포함한다. 리프팅 디바이스는 리프팅 디바이스 하우징에 배치되고, 리프팅 디바이스에 연결된 광학 부품의 수직 위치를 조정하도록 구성된다. 모터 조립체는 모터 하우징에 배치되고, 리프팅 디바이스를 구동하여 광학 부품의 수직 위치를 조정하도록 구성된다. 리프팅 디바이스 하우징, 모터 하우징 및 광학 부품은 인클로저의 초고진공 챔버에 배치된다. 모터 고장 시에, 모터 하우징은 리프팅 디바이스 하우징으로부터 분리될 수 있고, 모터 조립체는 리프팅 디바이스로부터 분리될 수 있으며, 따라서 모터 조립체가 교체될 수 있다. An apparatus includes a lifting device and a motor assembly. The lifting device is disposed in a lifting device housing and is configured to adjust a vertical position of an optical component connected to the lifting device. The motor assembly is disposed in a motor housing and is configured to drive the lifting device to adjust the vertical position of the optical component. The lifting device housing, the motor housing, and the optical component are disposed in an ultra-high vacuum chamber of an enclosure. In the case of motor failure, the motor housing can be disconnected from the lifting device housing, and the motor assembly can be decoupled from the lifting device, such that the motor assembly can be replaced.