Hydrogen Peroxide Vapor Decomposer
본 발명의 목적을 달성하기 위한 과산화수소 증기 분해기는 하우징, 상기 하우징의 외부와 내부를 연결하는 유입관, 상기 유입관의 내부 종단과 연결되도록 상기 하우징의 내부 일측에 구비되어 상기 유입관을 통해 유입된 과산화수소 증기를 분해하는 분해부 및 상기 분해부와 일단이 연결되고, 타단은 상기 하우징의 외부로 연결되는 배출관을 포함하고, 상기 분해부는, 상기 과산화수소 증기를 흡입하는 증기 흡입유닛, 상기 증기 흡입유닛을 통해 흡입된 과산화수소 증기를 1차 분해하는 제1필터 및 상기 증기 흡입유닛을 통해 흡입된 과산화수소 증기를 2...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명의 목적을 달성하기 위한 과산화수소 증기 분해기는 하우징, 상기 하우징의 외부와 내부를 연결하는 유입관, 상기 유입관의 내부 종단과 연결되도록 상기 하우징의 내부 일측에 구비되어 상기 유입관을 통해 유입된 과산화수소 증기를 분해하는 분해부 및 상기 분해부와 일단이 연결되고, 타단은 상기 하우징의 외부로 연결되는 배출관을 포함하고, 상기 분해부는, 상기 과산화수소 증기를 흡입하는 증기 흡입유닛, 상기 증기 흡입유닛을 통해 흡입된 과산화수소 증기를 1차 분해하는 제1필터 및 상기 증기 흡입유닛을 통해 흡입된 과산화수소 증기를 2차 분해하는 제2필터를 포함한다. |
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