SEM SEM Autofocus Method and System for Automatic SEM Inspection of Non-conductive Samples

부도체 샘플에서 SEM 자동 검사를 위한 자동초점 조절 방법 및 부도체 샘플의 SEM 자동 검사 시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 부도체 샘플의 SEM 자동 검사 시스템은, 스테이지(stage) 상에 로드되는 기준 크기 이상이 되는 대형 기판의 표면을 검사할 때 또는 영상획득(SEM) 동작 전 표면과의 거리를 측정하는 광학 현미경; 및 거리가 측정된 위치에서 표면 영상을 획득할 때 측정한 거리의 거리값에 따라 초점거리를 조절하여 영상을 획득하는 영상획득장치를 포함한다.